发明名称 |
一种对位平台 |
摘要 |
一种对位平台,包括一台面,该台面下按一矩形的四角布置四个支承机构;每个支承机构由一支承轴承下设一导轨副组成,所述导轨副由上导轨、下导轨以及中间滑块组成;支承轴承的上端与台面固定连接,其下端与对应的导轨副的上导轨固定连接,而导轨副的下导轨供固定于安装基面上;设矩形的一对边沿X向,另一对边沿Y向;位于矩形的一条Y向边两端的导轨副的下导轨是沿X向布置的,且这两导轨副的中间滑块上各作用有一X向推拉驱动机构;而另有一个导轨副的下导轨是沿Y方向布置的,且这个轨副的中间滑块上作用有一Y向推拉驱动机构。本发明对位平台利于控制,保证了机械精度,结构紧凑。 |
申请公布号 |
CN102029771B |
申请公布日期 |
2012.12.26 |
申请号 |
CN201010522747.5 |
申请日期 |
2010.10.28 |
申请人 |
苏州凯蒂亚半导体制造设备有限公司 |
发明人 |
唐志稳;景建平;刘宏宇 |
分类号 |
B32B38/18(2006.01)I;B32B41/00(2006.01)I |
主分类号 |
B32B38/18(2006.01)I |
代理机构 |
苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 |
代理人 |
马明渡 |
主权项 |
一种对位平台,其特征在于:包括一台面,该台面下按一矩形的四角布置四个支承机构;每个支承机构由一支承轴承下设一十字导轨副组成,所述十字导轨副由上导轨、与上导轨十字交叉的下导轨以及滑动连接在上、下导轨间的中间滑块组成;所述支承轴承的上端与台面固定连接,其下端与对应的十字导轨副的上导轨固定连接,而所述十字导轨副的下导轨供固定于安装基面上;设所述矩形的纵向边和横向边两者中,一者方向为X向,而另一者方向为Y向;四个支承机构中,位于所述矩形的一条Y向边两端的两支承机构中的十字导轨副的下导轨是沿X向布置的,且这两十字导轨副的中间滑块上各作用有一X向推拉驱动机构;而另有一个支承机构的十字导轨副的下导轨是沿Y方向布置的,且这个十字导轨副的中间滑块上作用有一Y向推拉驱动机构。 |
地址 |
215121 江苏省苏州市工业园区唯新路99号 |