真空反应腔室进出料的传送方法及传送设备

摘要

本发明提供了一种真空反应腔室进出料的传送方法，其特征在于工件在真空反应腔室中进行加工之前以及加工完毕后，需要先进入一个与真空反应腔室通过可开闭密封件连接的转换腔室，转换腔室在大气与真空之间切换，工件在转换腔室内三个工作位之间切换，以完成待加工工件从外界送至真空反应腔室以及加工完毕工件从真空反应腔室送出外界的传送；以及一种实现真空反应腔室进出料传送方法的传送设备；其优点在于不但解决了反应时不能进行装片取片的问题，而且可以解决反应腔室进行反复多次抽真空占用时间的问题，可以大大提高生产效率、节省人力。

主权项

一种真空反应腔室进出料的传送方法，其特征在于：工件在真空反应腔室中进行加工之前以及加工完毕后，需要先进入一个与真空反应腔室通过可开闭密封件连接的转换腔室，转换腔室在大气与真空之间切换，工件在转换腔室内三个工作位之间切换，以完成待加工工件从外界送至真空反应腔室以及加工完毕工件从真空反应腔室送出外界的传送。