发明名称 |
一种酸性蚀刻液的在线处理方法 |
摘要 |
本发明公开了一种酸性蚀刻液的在线处理方法,其特征在于利用吡啶羧酸酯类萃取剂Mextral CLX-50直接萃取酸性蚀刻液中的铜,载铜的吡啶羧酸酯类萃取剂用水、柠檬酸钠水溶液、柠檬酸铵水溶液、磷酸钠、磷酸铵水溶液反萃,蚀刻液经过除油处理和调配重新循环使用。本发明直接萃取酸性蚀刻液,抗氧化能力强。可以不对酸性蚀刻液进行预处理(比如调节pH值、去除氧化剂),使用寿命较长。降低了运行成本,同时减小了废液体积。 |
申请公布号 |
CN102839379A |
申请公布日期 |
2012.12.26 |
申请号 |
CN201210361521.0 |
申请日期 |
2012.09.26 |
申请人 |
重庆康普化学工业有限公司 |
发明人 |
汤启明;徐志刚;丁东升;邹潜 |
分类号 |
C23F1/46(2006.01)I;C22B3/36(2006.01)I;C22B15/00(2006.01)I |
主分类号 |
C23F1/46(2006.01)I |
代理机构 |
重庆市前沿专利事务所 50211 |
代理人 |
郭云 |
主权项 |
一种酸性蚀刻液的在线处理方法,其特征在于利用吡啶羧酸酯类萃取剂Mextral CLX‑50直接萃取酸性蚀刻液中的铜,载铜的吡啶羧酸酯类萃取剂用水、柠檬酸钠水溶液、柠檬酸铵水溶液、磷酸钠、磷酸铵水溶液反萃,蚀刻液经过除油处理和调配重新循环使用。 |
地址 |
401221 重庆市长寿区化工园区化中路7号 |