发明名称 一种酸性蚀刻液的在线处理方法
摘要 本发明公开了一种酸性蚀刻液的在线处理方法,其特征在于利用吡啶羧酸酯类萃取剂Mextral CLX-50直接萃取酸性蚀刻液中的铜,载铜的吡啶羧酸酯类萃取剂用水、柠檬酸钠水溶液、柠檬酸铵水溶液、磷酸钠、磷酸铵水溶液反萃,蚀刻液经过除油处理和调配重新循环使用。本发明直接萃取酸性蚀刻液,抗氧化能力强。可以不对酸性蚀刻液进行预处理(比如调节pH值、去除氧化剂),使用寿命较长。降低了运行成本,同时减小了废液体积。
申请公布号 CN102839379A 申请公布日期 2012.12.26
申请号 CN201210361521.0 申请日期 2012.09.26
申请人 重庆康普化学工业有限公司 发明人 汤启明;徐志刚;丁东升;邹潜
分类号 C23F1/46(2006.01)I;C22B3/36(2006.01)I;C22B15/00(2006.01)I 主分类号 C23F1/46(2006.01)I
代理机构 重庆市前沿专利事务所 50211 代理人 郭云
主权项 一种酸性蚀刻液的在线处理方法,其特征在于利用吡啶羧酸酯类萃取剂Mextral CLX‑50直接萃取酸性蚀刻液中的铜,载铜的吡啶羧酸酯类萃取剂用水、柠檬酸钠水溶液、柠檬酸铵水溶液、磷酸钠、磷酸铵水溶液反萃,蚀刻液经过除油处理和调配重新循环使用。
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