单结构三轴微机电陀螺仪

摘要

本发明公开了一种单结构三轴微机电陀螺仪，该陀螺仪由用来测量x轴和z轴角速度的xz轴结构和用来测量y轴角速度的y轴结构组成。xz轴结构沿x轴对称布置，y轴结构沿y轴对称分布，相邻的xz轴结构和y轴结构之间在外侧使用脐带连接，使得三轴结构获得单一的扩张一收缩式驱动，xz轴和y轴各自的两个质量块用连接器相连，在感应x轴、y轴和z轴角速度时可实现相位相反的同步运动，由此各轴均实现了差动输出。

主权项

一种单结构三轴微机电陀螺仪，它包括衬底、轴结构、十字连接器和脐带，其特征在于：所述的轴结构包括xz轴结构和y轴结构，所述的xz轴结构和y轴结构在所述衬底上，所述的xz轴结构用来测量x轴角速度和z轴角速度，所述的xz轴结构由两组沿x轴对称分布的xz轴分结构组成；所述的y轴结构用来测量y轴角速度，所述的y轴结构由两组沿y轴对称分布的y轴分结构组成；所述的两组xz轴分结构和两组y轴分结构内部通过十字连接器相连，所述的两组xz轴分结构和两组y轴分结构外部通过4条脐带依次连接。