| 摘要 |
<p>이 박막 태양 전지 제조 장치는, 감압으로 배기되고, CVD법에 의해 기판에 막을 형성하는 성막실; 성막실과 제1 개폐부를 개재하여 연접되고, 대기압과 감압을 절환 가능한 삽입·취출실; 성막실 및 상기 삽입·취출실에 부설된 이동 레일; 기판을 보유지지하고, 이동 레일을 따라 이동하는 캐리어; 캐리어를 이동시키는 캐리어 이송 기구;를 가지고, 캐리어 이송 기구는, 삽입·취출실에 설치되고, 캐리어를 성막실과 삽입·취출실 사이에서 이동시킨다.</p> |
