| 摘要 |
<p>본 발명은 피가공물을 보유하는 척테이블과, 레이저광선을 조사하는 레이저광선 조사수단과, 척테이블을 가공이송방향으로 이동시키는 가공이송수단과, 레이저광선 조사수단을 가공이송방향(X)과 직교하는 분할이송방향(Y)으로 상대이동시키는 분할이송수단을 구비하는 레이저 가공장치에 있어서, 가공이송량을 검출하는 가공이송량 검출수단과, 분할이송량을 검출하는 분할이송량 검출수단과, 피가공물에 형성하는 미세구멍의 X, Y 좌표값을 기억하는 기억수단을 구비하고, 기억수단에 기억된 미세구멍의 X, Y 좌표값과 가공이송량 검출수단 및 분할이송량 검출수단으로부터의 검출신호에 따라 레이저광선 조사수단을 제어하는 제어수단을 구비하고 있다.</p> |
