| 摘要 |
<p>(과제) 기립 자세로 된 평판 형상의 워크(work)를 양호하게 반송할 수 있는 반송 시스템을 제공한다. (해결 수단) 기판 브레이크 장치(1)(반송 시스템)는, 주로, 자세 변경 유닛(10) 및 본체 유닛(40)(고정측 유닛)과, 반송 유닛(50)을 갖고 있다. 또한, 자세 변경 유닛(10)은 복수의 압압(pushing)용 실린더(제2 구동부)를, 본체 유닛(40)은 복수의 로터리 액츄에이터(41)(제1 구동부)를, 각각 갖고 있다. 반송 유닛(50)은, 복수의 압압용 실린더 및 복수의 로터리 액츄에이터(41)로부터의 구동력에 의해, 워크의 고정 및, 워크의 고정 해제를 실행한다.</p> |
