半导体制程中自动位移制程基准线之方法

摘要

一种半导体制程中自动位移制程基准线之方法，步骤如下：将维修时序资料插入制程时序资料中，同时计算每一时序资料区段之平均值及标准差；根据每一资料点与平均值之差值的平均值将资料点排序；选取该排序中的前N%之资料点并计算平均值及标准差；过滤离群资料点且计算出时序资料区段的基准线；最后将基准线平移且对准，藉由上述步骤，即可补偿维修机台所造成的基准线偏移的问题，以使制程时序资料与量测时序资料之间的相关联性分析更加的正确。

主权项

一种半导体制程中自动位移制程基准线之方法，包括以下步骤：收集制程时序资料及维修时序资料，且将维修时序资料插入制程时序资料以形成一维修前制程时序资料区段、一维修时序资料区段及一维修后制程时序资料区段；分别计算该维修前制程时序资料区段、该维修时序资料区段及该维修后制程时序资料区段之原始平均值及原始标准差；过滤离群资料点，再分别计算该维修前制程时序资料区段、该维修时序资料区段及该维修后制程时序资料区段之第一平均值及第一标准差；分别计算每一时序资料区段中之每一资料点与其相对应之第一平均值的差值，且根据该差值的绝对值将每一时序资料区段中之每一资料点进行排序；选取每一时序资料区段中资料排序的前N%之资料点，并根据被选取的资料点计算该维修前制程时序资料区段、该维修时序资料区段及该维修后制程时序资料区段之第二平均值及第二标准差；再执行过滤离群资料点，且分别计算该维修前制程时序资料区段、该维修时序资料区段及该维修后制程时序资料区段之第三平均值及第三标准差，其中每一时序资料区段中之第三平均值系为每一时序资料区段中之基准线；以及平移该基准线且对准每一时序资料区段中之基准线。如申请专利范围第1项所述之半导体制程中自动位移制程基准线之方法，其中每一过滤离群资料点之步骤均系利用3标准差方法进行离群资料点之过滤。如申请专利范围第2项所述之半导体制程中自动位移制程基准线之方法，其中该收集制程时序资料及维修时序资料之步骤中更包括一收集量测时序资料及将制程时序资料依照机台或工具进行分类之步骤。如申请专利范围第3项所述之半导体制程中自动位移制程基准线之方法，其中该分别计算每一时序资料区段中之每一资料点与其相对应之第一平均值的差值，且根据该差值的绝对值将每一时序资料区段中之每一资料点进行排序之步骤系根据该差值的绝对值将每一时序资料区段中之每一资料点进行由小至大的排序。如申请专利范围第4项所述之半导体制程中自动位移制程基准线之方法，其中该选取每一时序资料区段中资料排序的前N%之资料点之步骤系利用最接近资料方法选取每一时序资料区段中资料排序的前N%之资料点。如申请专利范围第5项所述之半导体制程中自动位移制程基准线之方法，其中该前N%之资料点系为排序在前85%至前95%范围内之资料点。