电浆蚀刻机台与其顶出销

摘要

一种电浆蚀刻机台的顶出销，包含有一绝缘外壳与一导电中心销安装于绝缘外壳之中。导电中心销在顶起基板时，可直接接触基板，以移除基板上的残留静电。绝缘外壳则形成抗腐蚀且高阻抗的保护层。导电中心销可进一步形成一安全槽，以避免造成下电极的损伤，亦可以形成一扳手固定槽，以方便固定顶出销。一种电浆蚀刻机台亦同时在此揭露。

主权项

一种顶出销，用于一电浆蚀刻机台，以顶起一基板，该顶出销包含：一绝缘外壳；以及一导电中心销，安装于该绝缘外壳之中，并在顶起该基板时，接触该基板，以移除该基板上的残留静电。如申请专利范围第1项所述之顶出销，其中该导电中心销系为一金属中心销。如申请专利范围第1项所述之顶出销，其中该导电中心销的材料系选自于金、银、铜、铁、铝合金与不锈钢所构成之群组。如申请专利范围第1项所述之顶出销，其中该绝缘外壳系由一耐高温或抗腐蚀工程塑胶所形成。如申请专利范围第1项所述之顶出销，其中该绝缘外壳的材料系选自于聚苯并咪唑(Polybenzimidazoles；PBI)、聚醚醚酮(Polyether Ether Ketone；PEEK)、陶瓷、石英与聚醯亚胺(Polyimide)所构成的群组。如申请专利范围第1项所述之顶出销，其中该导电中心销具有一安全槽。如申请专利范围第6项所述之顶出销，其中该安全槽距离该导电中心销的一顶端约92公厘(mm)。如申请专利范围第1项所述之顶出销，其中该绝缘外壳具有一扳手固定槽，形成于该绝缘外壳的一上方部位，用以固定该顶出销。如申请专利范围第8项所述之顶出销，其中该扳手固定槽，与该绝缘外壳的一顶端距离约12公厘(mm)。如申请专利范围第1项所述之顶出销，其中该绝缘外壳的一顶端，具有一倒角(Fillet)。如申请专利范围第1项所述之顶出销，其中该绝缘外壳的一顶端，具有一斜面倒角(Chamfer)。如申请专利范围第1项所述之顶出销，其中该顶出销的长度约为161.5公厘(mm)。如申请专利范围第1项所述之顶出销，其中该导电中心销具有一底部接地端，以电性连接该电浆蚀刻机台的一接地线路。如申请专利范围第1项所述之顶出销，其中该顶出销系一玻璃基板顶出销。一种顶出销，包含：一绝缘外壳；以及一导电中心销，安装于该绝缘外壳之中。一种电浆蚀刻机台，包含：一上电极；一下电极，具有复数个第一开口与复数个第二开口；一升降装置，安装于该下电极的下方；以及复数个如申请专利范围第1至15项任一项所述之顶出销，其中该些顶出销安装于该升降装置之上，且穿过该些第二开口，当该基板进行蚀刻时，该升降装置驱动该些顶出销降下，使该基板平置于该下电极之上，并覆盖该些第二开口，当该些顶出销顶起该基板时，该导电中心销接触该基板，以移除该基板上的残留静电。如申请专利范围第16项所述之电浆蚀刻机台，其中该些第一开口系为冷却气体的入口，以降低该基板的温度。如申请专利范围第17项所述之电浆蚀刻机台，其中该冷却气体包含惰性气体。如申请专利范围第17项所述之电浆蚀刻机台，其中该冷却气体包含氦气(Helium；He)。如申请专利范围第17项所述之电浆蚀刻机台，其中该下电极于电浆蚀刻时，更通入一预定电压，以产生静电吸附该基板。如申请专利范围第16项所述之电浆蚀刻机台，其中该上电极系为一阳极，且该下电极为一阴极。一种电浆蚀刻机台，包含：一上电极；一下电极，具有复数个开口；一升降装置，安装于该下电极的下方；以及复数个如申请专利范围第1至15项任一项所述之顶出销，其中该些顶出销设置于该升降装置之上，且分别对应穿过该些开口。