摘要 |
1. Плата микроэлектронного блока, содержащая подложку, на которой сформированы пленочные конструкционные резисторы и коммутационные проводники с контактными площадками и установлены навесные элементы, отличающаяся тем, что указанные коммутационные проводники имеют защитное графитовое покрытие, сформированное, как и пленочные конструкционные резисторы, из отожженного в вакууме материала фотолитографической маски на основе смеси сульфоэфиров ортонафтохинондиозидов и наволачной смолы в диоксане.2. Плата микроэлектронного блока по п.1, отличающаяся тем, что коммутационные проводники выполнены на основе многослойной пленочной структуры «ванадий-хром-медь» или «хром-медь-хром». |