| 摘要 |
1. Разрядная система эксимерного лазера, содержащая цельные высоковольтный и заземленный электроды, УФ предыонизатор, отличающаяся тем, что УФ предыонизатор, выполнен на основе распределенного вдоль электродов завершенного скользящего разряда по поверхности двух плоских диэлектрических пластин, расположенных по обе стороны от высоковольтного электрода так, что дальний по отношению к высоковольтному электроду край пластин выступает за уровень рабочей поверхности этого электрода, а угол между рабочей плоскостью диэлектрических пластин и плоскостью, проходящей через центры обоих электродов, составляет менее 90°, и размещенная в лазерной камере, выполненной виде керамической трубы.2. Разрядная система эксимерного лазера по п.1, отличающаяся тем, что она размещена в лазерной камере, состоящей из металлического корпуса, на который крепиться изолятор в виде пустотелого параллелепипеда с высоковольтным фланцем и УФ предыонизатором.3. Разрядная система эксимерного лазера по п.2, отличающаяся тем, что изолятор выполнен в виде рельефной диэлектрической пластины. |
