发明名称 镀膜支架
摘要 一种镀膜支架,其包括:一个支架本体,所述支架本体具有一中心转轴,所述支架本体可绕所述中心转轴旋转,所述支架本体上设置有多个容置通孔;至少一基片夹具,每个基片夹具对应设置于每个容置通孔中,所述基片夹具和所述支架本体之间通过转轴连接,每个基片夹具相连的转轴处设有一翻面导向槽;及一个翻面控制装置,所述翻面控制装置包括至少一翻面杆及一控制元件,所述控制元件用于控制所述翻面杆移动至与所述基片夹具的翻面导向槽接近的位置,以使所述支架本体绕所述中心转轴旋转时,所述翻面杆在所述翻面导向槽的导引下,带动所述基片夹具翻面。
申请公布号 CN101575699B 申请公布日期 2012.12.19
申请号 CN200810301446.2 申请日期 2008.05.06
申请人 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 发明人 简士哲
分类号 C23C14/50(2006.01)I;G02B1/10(2006.01)I 主分类号 C23C14/50(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种镀膜支架,其包括:一个支架本体,所述支架本体具有一中心转轴,所述支架本体可绕所述中心转轴旋转,所述支架本体上设置有多个容置通孔;至少一基片夹具,每个基片夹具对应设置于每个容置通孔中,所述基片夹具和所述支架本体之间通过转轴连接,每个基片夹具相连的转轴处设有一翻面导向槽,所述翻面导向槽由一第一挡块及一第二挡块共同配合形成,所述第一挡块与所述第二挡块相互分离,所述第一挡块为半月形,所述第二挡块一端为圆弧形一端为方形,所述第二挡块设置于所述第一挡块的半月形内部,且圆弧形的一端靠里,所述第一挡块与所述第二挡块之间的间隙形成所述翻面导向槽,所述翻面导向槽具有开放的两端;及一个翻面控制装置,所述翻面控制装置包括至少一翻面杆及一控制元件,所述控制元件用于控制所述翻面杆移动至与所述基片夹具的翻面导向槽接近的位置,以使所述支架本体绕所述中心转轴旋转时,所述翻面杆在所述翻面导向槽的导引下自所述翻面导向槽的一端进入,沿所述翻面导向槽移动,之后从所述翻面导向槽的另一端滑出,带动所述基片夹具翻面。
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