硅片切割废砂浆回收循环利用方法

摘要

本发明涉及一种硅片切割废砂浆回收循环利用方法。其特征在于：所述方法包括如下工艺步骤：步骤一、预处理：按原浆与水均匀搅拌，采用板框式压滤机进行固液分离；步骤二、PEG的回收：在过滤后的液体中加入脱色剂，然后进行板框过滤，所得滤液经离子交换树脂/多效蒸馏器、减压蒸馏、精馏、精滤，得PEG成品；步骤三、碳化硅的回收：将过滤后的滤饼与水按1:3~4配合，搅拌形成浆料，然后浆料经过多级旋流器分离、酸洗、旋流器分离、带式过滤机过滤、干燥后即得碳化硅成品。本发明方法，分离量大、回收率高、回收的PEG和碳化硅质量好、节能环保。

主权项

一种硅片切割废砂浆回收循环利用方法，其特征在于：所述方法包括如下工艺步骤：步骤一、预处理：砂浆搅拌，按原浆与水1:0.35~0.55的比例进行有效均匀搅拌，同时用蒸汽对砂浆加温至50‑60℃；然后采用板框式压滤机进行固液分离；步骤二、PEG的回收：在过滤后的液体中加入脱色剂，同时对液体进行加温，温度控制在55‑65℃，搅拌35‑45分钟，然后进行板框过滤，所得滤液经离子交换树脂进行交换；然后将经过离子交换的液体经过多效蒸馏，将液体中的水分降低至15‑20%，然后经过减压蒸馏，将水分控制在5%以下，再经过精馏，将水分控制在0.5%以下，最后采用滤芯精度为0.05‑0.2μm的精密过滤器进行过滤，得PEG成品；步骤三、碳化硅的回收：将过滤后的滤饼与水按1:3~4配合，搅拌形成浆料，然后浆料经过多级旋流器分离，去除游离碳、硅粉和5微米以下的碳化硅颗粒；分离后的固体再经酸洗，去除金属氧化物；然后再经过旋流器分离、带式过滤机过滤、干燥后即得碳化硅成品；所述步骤三中的多级旋流器采用五级旋流器，其具体操作方法为：在浆料池(1)中将浆料混合均匀，然后依次进入打入第一旋流器(2)、第一收集池(3)、第二旋流器(4)、第二收集池(5)、第三旋流器(6)和第三收集池(7)，然后打入酸洗池(14)处理；所述第一旋流器(2)和第二旋流器(4)顶部旋流出的浆料进入缓冲池(8)，然后依次经第四旋流器(9)、第四收集池(10)、第五旋流器(11)和第五收集池(12)，第五收集池收集的浆料再进入第一旋流器(2)继续处理，第三旋流器 (6)顶部旋流出的浆料进入第一收集池(3)继续处理，第四收集池(10)旋流出的浆料进入缓冲池(8)继续处理，第五旋流器(11)顶部旋流出的浆料去污水处理装置(13)；步骤二中所述的脱色剂由为占液体总重量0.5%的活性炭和白土0.3%配合而成；步骤三中，分离后的固体再经酸洗，去除金属氧化物；然后再经过旋流器分离，所述的旋流器分离采用三级旋流器分离，所述三级旋流器分离依次串联设置。