| 发明名称 | 四脒基金属(IV)化合物及其在气相沉积中的用途 | ||
| 摘要 | 合成并表征了四(N，N’-二烷基脒基)金属(IV)。示例性金属包括铪、锆、钽、铌、钨、钼、锡和铀。这些化合物是挥发性，高热稳定的，且适用于金属与它们的氧化物、氮化物和其他化合物的气相沉积。 | ||
| 申请公布号 | CN101500989B | 申请公布日期 | 2012.12.19 |
| 申请号 | CN200780029810.8 | 申请日期 | 2007.06.26 |
| 申请人 | 哈佛学院院长等 | 发明人 | R·G·戈登;J-S·莱恩;H·李 |
| 分类号 | C07C257/14(2006.01)I;C23C16/34(2006.01)I;C23C16/40(2006.01)I | 主分类号 | C07C257/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 任宗华 |
| 主权项 | 1.具有如下结构式的化合物：<img file="FSB00000843181800011.GIF" wi="733" he="643" />其中，M为+4氧化态的铪、锆或钽，且R<sup>1</sup>到R<sup>12</sup>各自独立地选自氢、烃基和被氟取代的烃基。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞 | ||