发明名称 掩膜装置及其制作方法
摘要 本发明涉及平板显示技术领域,尤其涉及一种掩膜装置,其包括掩膜模块、第一驱动模块、支撑模块及第二驱动模块。掩膜模块和第一驱动模块分别位于一基板的两侧,且两者相对设置。第一驱动模块用于向掩膜模块提供一第一作用力,使掩膜模块与第一驱动模块结合在一起,将基板固定于掩膜模块与第一驱动模块之间。支撑模块包括一调节模块,其分别与掩膜模块和第一驱动模块可拆卸地结合在一起,且调节模块可调整掩膜模块与第一驱动模块之间的距离。第二驱动模块与掩膜模块分别位于第一驱动模块的两侧,其用于向基板提供一第二作用力,以在掩膜模块与第一驱动模块结合在一起之前将基板固定于第一驱动模块上。此外,本发明还提供一种掩膜装置的制作方法。
申请公布号 CN102830586A 申请公布日期 2012.12.19
申请号 CN201110164791.8 申请日期 2011.06.17
申请人 深圳莱宝高科技股份有限公司 发明人 王士敏;郭元元;商陆平;李绍宗;王连彬;陈雄达
分类号 G03F1/00(2012.01)I 主分类号 G03F1/00(2012.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种掩膜装置,包括掩膜模块、第一驱动模块、支撑模块以及第二驱动模块,所述掩膜模块和第一驱动模块分别位于一用于制作面板结构的基板的两侧,且所述掩膜模块与第一驱动模块相对设置,所述第一驱动模块用于向所述掩膜模块提供一第一作用力,所述第一作用力用于使所述掩膜模块与第一驱动模块结合在一起,以将所述基板固定于所述掩膜模块与所述第一驱动模块之间;所述支撑模块包括一调节模块,所述调节模块分别与所述掩膜模块和第一驱动模块可拆卸地结合在一起,且所述调节模块可调整所述掩膜模块与所述第一驱动模块之间的距离;所述第二驱动模块与掩膜模块分别位于所述第一驱动模块的两侧,其用于向所述基板提供一第二作用力,以在所述掩膜模块与所述第一驱动模块结合在一起之前将所述基板固定于所述第一驱动模块上。
地址 518057 广东省深圳市南山区高新技术产业园区朗山二路9号