发明名称 |
芯片用树脂膜形成用片材及半导体芯片的制造方法 |
摘要 |
本发明的课题在于在对半导体晶片、芯片不进行特别处理的情况下,赋予所得到的半导体装置以吸杂功能。该课题是通过提供本发明的芯片用树脂膜形成用片材而得以解决的,所述芯片用树脂膜形成用片材的特征在于:具有剥离片材和在所述剥离片材的剥离面上形成的树脂膜形成层,且所述树脂膜形成层含有粘合剂聚合物成分(A)、固化性成分(B)和吸杂剂(C)。 |
申请公布号 |
CN102834903A |
申请公布日期 |
2012.12.19 |
申请号 |
CN201180017214.4 |
申请日期 |
2011.03.30 |
申请人 |
琳得科株式会社 |
发明人 |
篠田智则;若山洋司 |
分类号 |
H01L21/322(2006.01)I;C09J7/02(2006.01)I;C09J11/04(2006.01)I;C09J11/06(2006.01)I;C09J11/08(2006.01)I;C09J201/00(2006.01)I;H01L21/78(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/322(2006.01)I |
代理机构 |
北京品源专利代理有限公司 11332 |
代理人 |
刘宗杰;巩克栋 |
主权项 |
一种芯片用树脂膜形成用片材,其具有剥离片材和在所述剥离片材的剥离面上形成的树脂膜形成层,且所述树脂膜形成层含有粘合剂聚合物成分(A)、固化性成分(B)和吸杂剂(C)。 |
地址 |
日本东京 |