激光聚焦式测头测量微幅振动的方法及其使用的装置

摘要

本发明为一种激光聚焦式测头测量微幅振动的方法及其使用的装置，其特征在于：将待测振动装置移动至激光聚焦式测头正下方，数据采集卡采集激光聚焦式测头的信号传输至数据处理器，数据处理器输出数字信号给数据采集卡后又转换成模拟信号输出给电动升降平台控制器，由其驱动电动升降平台在激光聚焦式测头焦平面附近移动，当待测振动装置开始振动时，其表面与激光聚焦式测头表面的距离变化，激光聚焦式测头信号相应发生变化，激光聚焦式测头信号的频率和波形就反应了振动装置的振动频率和波形，根据移动距离L和测头信号U之间的线性关系U=k*L+b，b是L为零时测头的输出信号，振幅为测头信号振幅的1/k倍。

主权项

一种激光聚焦式测头测量微幅振动的方法，其特征在于：将待测振动装置移动至激光聚焦式测头正下方，数据采集卡采集激光聚焦式测头的信号传输至数据处理器，数据处理器输出数字信号给数据采集卡，数据采集卡将数字信号转换成模拟信号输出给电动升降平台控制器，电动升降平台控制器驱动电动升降平台移动；电动升降平台在激光聚焦式测头焦平面附近移动，记录相应的移动距离L和测头信号U，提取线性部分对移动距离L和测头信号U做线性拟合，获取移动距离L和测头信号U之间的线性关系；当待测振动装置开始振动时，待测振动装置表面与激光聚焦式测头表面的距离变化，激光聚焦式测头信号相应发生变化，通过数据采集卡采集激光聚焦式测头信号并传输至数据处理器记录，激光聚焦式测头信号的频率和波形就反应了待测振动装置的振动频率和波形，根据移动距离L和测头信号U之间的线性关系U=k*L+b，b是L为零时测头的输出信号，振幅为测头信号振幅的1/k倍。