单晶硅区熔拉伸炉控制系统

摘要

本发明公开一种单晶硅区熔拉伸炉控制系统，包括：上轴旋转速度检测装置，上轴送料速度检测装置，下轴旋转速度检测装置，下轴拉伸速度检测装置，炉膛温度检测装置，炉膛气压检测装置，数据采集模块，存储器，处理器，控制信号输出模块，上轴旋转速度控制器，上轴送料速度控制器，下轴旋转速度控制器，下轴拉伸速度控制器，炉膛温度控制器，炉膛气压控制器，通过联动控制上轴送料速度、下轴拉伸速度、上下轴旋转速度、炉膛温度、炉膛惰性气体充气压力，使拉伸出的单晶硅棒的直径、圆度符合设计要求。

主权项

一种单晶硅区熔拉伸炉控制系统，包括：上轴旋转速度检测装置，用于检测上轴旋转速度；上轴送料速度检测装置，用于检测上轴位移速度；下轴旋转速度检测装置，用于检测下轴旋转速度；下轴拉伸速度检测装置，用于检测下轴位移速度；炉膛温度检测装置，用于检测炉膛温度；炉膛气压检测装置，用于检测炉膛惰性气体充气压力；数据采集模块，用于将上述检测装置获得的信号转换成数字信号；存储器，用于存储信号数据、控制参数设定值及信号处理计算模型；中央处理器，用于处理上述检测信号，输出控制信号；控制信号输出模块，用于输出控制信号，将数字控制信号转换成模拟信号；上轴旋转速度控制器，用于控制上轴旋转电机的速度；上轴送料速度控制器，用于控制上轴送料电机的速度；下轴旋转速度控制器，用于控制下轴旋转电机的速度；下轴拉伸速度控制器，用于控制下轴拉伸电机的速度；炉膛温度控制器，用于控制感应加热器的功率；炉膛气压控制器，用于控制惰性气体的充气压力；所述中央处理器将上轴旋转速度信号数据与其设定值进行比较，向上轴旋转速度控制器输出控制信号，控制上轴旋转电机的速度；将上轴送料速度信号数据与其设定值进行比较，向上轴送料速度控制器输出控制信号，控制上轴送料电机的速度；将下轴旋转速度信号数据与其设定值进行比较，向下轴旋转速度控制器输出控制信号，控制下轴旋转电机的速度；将下轴拉伸速度信号数据与其设定值进行比较，向下轴拉伸速度控制器输出控制信号，控制下轴拉伸电机的速度；将炉膛温度信号数据与其设定值进行比较，向炉膛温度控制器输出控制信号，控制感应加热器的功率；将炉膛气压信号数据与其设定值进行比较，向炉膛气压控制器输出控制信号，控制惰性气体充气阀的开度。