用于检测纳米材料拉伸和压缩力学性能的微机械结构

摘要

本实用新型公开了用于检测纳米材料拉伸和压缩力学性能的微机械结构，包括一个框形支架，所述框形支架上通过至少四根对称的上竖直梁连接两个相互对称设置的上层平台，被测纳米材料固定于两个上层平台之间；两个上层平台的两端分别通过下支撑梁支撑于框形支架的支座上；所述两个上层平台的下方通过至少四根对称的斜梁连接一个下层平台，下层平台用于施加外部载荷。该微结构的制备材料为多晶硅，制备工艺与现有的硅微机械加工工艺相兼容，可批量制备。能够同时得到一维纳米材料承受的载荷和在载荷作用下的变形情况，并在检测过程中对纳米材料本身特性没有影响。

主权项

用于检测纳米材料拉伸和压缩力学性能的微机械结构，包括一个框形支架（101），其特征在于：所述框形支架（101）上通过至少四根对称的上竖直梁（102）连接两个相互对称设置的上层平台（104）；两个上层平台（104）的两端分别通过下支撑梁（103）支撑于框形支架（101）的支座上；所述两个上层平台（104）的下方通过至少四根对称的斜梁（105）连接一个下层平台（106）。