Improvement of Interfacial Adhesion Strength of Flexible Substrates and Selective Growth Method of Aligned ZnO Nanopilar Arrays on Them
摘要
<p>본 발명은 유연한 기판과 그 위에 형성되는 나노구조와의 격자 불일치 때문에 생기는 계면접합 불량 문제를 해결하기 위하여 플라즈마 처리에 의해 유연한 기판의 표면거칠기를 제어함으로써 유연한 기판-산화아연(시드층) 간의 계면접합 특성을 향상시키는 기술을 사용하여 상기 유연한 기판 위에 100℃ 이하의 저온 용액 공정으로 촉매를 사용하지 않고 산화아연 나노필라 어레이(array)을 선택적으로 정렬 성장시키는 방법에 관한 것이다.</p>
