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<p>소결 실리콘 웨이퍼로서, 그 최대 결정 입경이 20 ㎛ 이하, 평균 결정 입경이 1 ㎛ 이상, 10 ㎛ 이하인 소결 실리콘 웨이퍼 및 직경이 400 ㎜ 이상인 실리콘 웨이퍼로부터 복수의 시험 시료를 채취하여 측정한 이하의 기계적 특성을 갖는 소결 실리콘 웨이퍼로서, 3 점 굽힘법에 의한 항절력의 평균값이 20 kgf/㎟ 이상, 50 kgf/㎟ 이하, 인장 강도의 평균값이 5 kgf/㎟ 이상, 20 kgf/㎟ 이하, 비커스 경도의 평균값이 Hv 800 이상, Hv 1200 이하의 기계적 특성을 갖는 소결 실리콘 웨이퍼. 대형인 원반 형상 소결 실리콘 웨이퍼에서도, 일정한 강도를 구비한 소결체 웨이퍼로서, 단결정 실리콘의 기계적 물성에 유사한 소결 실리콘 웨이퍼를 제공하는 것에 있다.</p> |
