LASER IRRADIATION APPARATUS

摘要

레이저 광원(1)의 출사광을 DMD(2)의 미러 어레이에 조사하고, 그 반사 회절광을 집광 렌즈(3)와 대물 렌즈(4)로 피가공물(8)에 결상시킨다. 미러 어레이를 통과한 광이 2개에 분리하지 않도록, DMD(2)를 적절한 각도(β)로 기울이고, 미러 어레이를 통과한 광이 2개로 분리하는 일 없이, 피가공물에 효율적으로 전송되도록 구성한다.