适合于用在衬底处理室中的气流均衡板

摘要

本发明提供了一种适合于用在衬底处理室中的气流均衡板。一种气流均衡板用于用在衬底处理室中。该气流均衡板具有环形形状，其具有气流阻碍内部区域，以及允许处理气体通过但是留住处理气体中的诸如离子和自由基的特定成分的穿孔外部区域。内部和外部区域具有变化的径向宽度，以在衬底的表面上平衡处理气体的流动。在特定实施例中，气流均衡板可以被用来校正由于排气口相对于衬底支撑件的中心线偏移而引起的、在处理容积与排气口之间的室流动不对称性。

主权项

一种气流均衡板，包括：具有中央开口的板主体，其中，所述板主体包括邻近地围绕所述中央开口的内部区域，以及围绕所述内部区域的穿孔外部区域；其中，所述内部区域具有沿着所述板主体的周长变化的第一径向宽度，来阻碍进入到所述内部区域的处理气体流；并且其中，所述穿孔外部区域具有沿着所述板主体的周长变化的第二径向宽度并允许气流从其穿过，所述外部区域包括围绕所述内部区域分布的多个狭缝，并且所述狭缝构造为防止等离子体从其通过。