具备离子选择和存储功能的二次离子质谱一次离子源

摘要

本发明属于分析技术领域，具体为一种具备离子选择和存储功能的二次离子质谱一次离子源。具体为采用四极杆电极系统对一次离子源产生的离子进行质量选择和离子存储。二次离子质谱中，二次离子的离子化效率和对样品深度的分析能力取决于一次离子的能量。四极杆电极系统一方面可以实现选择特定质荷比的离子作为二次离子质谱的一次离子；另一方面可以通过存储特定质荷比的离子来增加二次离子质谱的一次离子流的大小。相比于传统的二次离子质谱仪，本发明能够提高二次离子的离子化效率，同时优化了仪器结构。

主权项

一种用于二次离子质谱的一次离子源离子光学系统，其特征在于采用由四根杆形电极组成的四极杆电极系统，或者由三组四根杆形电极串联组成的三重四极杆电极系统，作为离子选择和存储的装置。