一种四氯化硅冷氢化制备三氯氢硅的方法

摘要

本发明公开了一种四氯化硅冷氢化制备三氯氢硅的方法，包括如下步骤：a）将硅粉与催化剂进行混合，得到混合物料；b）在氢气气氛下对混合物料进行脱水；c)将氢气与四氯化硅进行混合，得到第一混合气体；d）将第一混合气体加热至450～550℃；e）使混合物料与第一混合气体在450～500℃的条件下进行反应，得到第二混合气体；f）将第二混合气体经过气体过滤装置进行收尘、过滤；g）将经过收尘、过滤的第二混合气体冷凝，得到氢气和氯硅烷；h）将氯硅烷进行分离提纯，得到三氯氢硅。根据本发明的制备方法，采用铜镍合金作为催化剂，反应之前不需要高温预活化，反应结束后可以直接排渣，不会对环境造成污染。

主权项

一种四氯化硅冷氢化制备三氯氢硅的方法，其特征在于，包括如下步骤：a）将硅粉与催化剂进行混合，得到混合物料，其中，所述催化剂为铜镍合金，所述铜镍合金中的镍的质量含量为10～35%；b）在氢气气氛下对所述混合物料进行脱水；c)将氢气与四氯化硅以摩尔比2～5：1的比例进行混合，气相压力控制在1～2.5M，得到第一混合气体；d）将所述第一混合气体加热至450～550℃；e）使所述混合物料与所述第一混合气体在450～500℃的条件下进行反应，得到第二混合气体；f）将所述第二混合气体经过气体过滤装置进行收尘、过滤，其中所述气体过滤装置内设有陶瓷滤芯；g）将经过收尘、过滤的第二混合气体冷凝，得到氢气和氯硅烷；h）将所述氯硅烷进行分离提纯，得到三氯氢硅。