真空放气阀

摘要

本实用新型涉及真空器械技术领域，尤其是涉及适用于真空镀膜设备的真空放气阀，其具有一气缸、一气缸座，气缸座组接在气缸的前端，且气缸座内部中空，于气缸座的内空部设有一阀盖，阀盖由气缸驱动，阀盖活动密封与气缸座衔接的阀座的进气口；所述气缸、气缸座及阀座之间为轴向衔接，阀座的进气口与阀盖轴向对接。本实用新型采用气动方式来打开和闭合阀盖，动作稳定、易操作，且密封良好，结构简单，科学合理，投资成本低，维护检修十分方便，大大提高了气阀的运行率和可操作性，体积小巧，安装、使用方便。

主权项

真空放气阀，其特征在于：该放气阀具有一气缸（1）、一气缸座（2），气缸座（2）组接在气缸（1）的前端，且气缸座（2）内部中空，于气缸座（2）的内空部设有一阀盖（3），阀盖（3）由气缸（1）驱动，阀盖（3）活动密封与气缸座（2）衔接的阀座（4）的进气口（41）。