| 发明名称 | 基板对位机构、使用其的真空预备室和基板处理系统 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种能使对基板进行对位的容器内的用于基板对位的空间尽量缩小的基板对位机构、使用其的真空预备室和基板处理系统。在收容基板(G)的容器(81)内对支承在基板支承部(96、97、98)上的基板(G)进行对位的基板对位机构(86)具有通过转动而与容器(81)内的基板(G)的端面接触的对位构件(132)。 | ||
| 申请公布号 | CN101989559B | 申请公布日期 | 2012.12.12 |
| 申请号 | CN201010233770.2 | 申请日期 | 2010.07.20 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 小泽润;熊坂肇 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;张会华 |
| 主权项 | 一种基板对位机构，其是在收容基板的容器内对支承在基板支承部上的基板进行对位的基板对位机构，其特征在于，该基板对位机构具有通过转动而与上述容器内的基板的端面接触的对位构件，上述基板支承部通过组合多个支承销和多个可动支承部而构成，该多个支承销具有半球状的顶端部，且以固定方式设置，该多个可动支承部以能够旋转自如的方式嵌入有球状体。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||