移载装置

摘要

本发明提供一种在避免微粒发生的问题的同时、能够对应大型化工件进行移载的移载装置。一种移载装置(30)，将分别由两条臂(基端侧臂(2)和前端侧臂(3))构成的一对自由臂(4)的基端侧臂(2)的基端侧转动自如地安装在基台(1)上，具备将前端侧臂(3)的前端侧相互转动自如地连结的移载臂(5)，具备使基台(1)沿移载方向滑动的滑动部(20)。

主权项

一种移载装置，其特征在于，具备：一对自由臂，分别由两条臂构成；基台，上述一对自由臂的基端侧臂分别以上述基端侧臂的基端为中心转动自如地安装在该基台上；移载臂，上述一对自由臂的前端侧臂分别以上述前端侧臂的前端为中心转动自如地安装在该移载臂上；以及滑动部，使上述基台沿移载方向滑动，在载置有移载物的情况下，与上述基台开始减速的时刻相对应地开始上述移载臂的加速，在上述基台减速结束的时刻达到一定速度，维持该一定速度。