真空镀膜机上的蒸发电极结构

摘要

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，尤其是真空镀膜机上的蒸发电极结构，包括有两条蒸发电极，一条接电，另一条不接电；所述两条蒸发电极的上下端分别安装有分组电极，分组电极在蒸发电极外周朝外延伸，且同一条蒸发电极上的分组电极成90度交叉安装。本实用新型通过在两条蒸发电极的上下端分别安装有分组电极，且同一条蒸发电极上的分组电极成90度交叉安装；由此获得蒸发电极外围四方向上均可蒸发金属，使金属蒸发均匀，提升镀膜效果。结构简单，科学合理，投资成本低，维护检修十分方便，体积小巧，安装、使用方便，大大提高了设备的运行率和可操作性。

主权项

真空镀膜机上的蒸发电极结构，包括有两条蒸发电极（1、2），一条接电，另一条不接电；其特征在于：所述两条蒸发电极（1、2）的上下端分别安装有分组电极（3），分组电极（3）在蒸发电极外周朝外延伸，且同一条蒸发电极上的分组电极（3）成90度交叉安装。