基板传送系统

摘要

本实用新型提供一种基板传送系统，其应用于一处理设备中，以传送所述处理设备中的基板，所述基板传送系统包括传送所述基板的传动部件、动力机构、升降驱动机构和旋转驱动机构，所述动力机构可以为所述升降驱动机构与所述旋转驱动机构提供升降与旋转用的动力，所述升降驱动机构与所述旋转驱动机构分别与所述传动部件连接，用于驱动所述传动部件升降运动或者旋转运动，所述处理设备具有处理腔室，所述处理腔室内设有衬底支承座，所述升降驱动机构在动力机构的驱动下带动所述传动部件下降并穿过所述衬底支承座进而使得所述基板可以被放置在所述衬底支承座上。

主权项

一种基板传送系统，应用于一处理设备中以传送基板，所述基板传送系统包括传送所述基板的传动部件、动力机构、升降驱动机构和旋转驱动机构，所述动力机构可以为所述升降驱动机构与所述旋转驱动机构提供升降与旋转用的动力，所述升降驱动机构与所述旋转驱动机构分别与所述传动部件连接，用于驱动所述传动部件升降运动或者旋转运动，所述处理设备具有处理腔室，所述处理腔室内设有衬底支承座，其特征在于，所述升降驱动机构在动力机构的驱动下带动所述传动部件下降并穿过所述衬底支承座进而使得所述基板可以被放置在所述衬底支承座上。