摘要 |
1. Способ соединения деталей из тугоплавких оксидов, включающий полировку соединяемых поверхностей, их совмещение и нагрев, отличающийся тем, что, по крайней мере, на одну из полированных соединяемых поверхностей наносят слой материала, образующего твердый раствор по крайней мере с одним из материалов соединяемых деталей, при этом температура плавления твердого раствора ниже температуры плавления каждого из материалов соединяемых деталей, после этого совмещенные детали отжигают при температуре выше температуры образования твердого раствора.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что тугоплавким оксидом является иттрий-алюминиевый оксид со структурой граната.3. Способ по п.1, отличающийся тем, что тугоплавким оксидом является оксид алюминия.4. Способ по п.1, отличающийся тем, что тугоплавким оксидом является галлий-гадолиниевый оксид со структурой граната.5. Способ по п.1, отличающийся тем, что слой наносимого материала выполнен из оксидного материала.6. Способ по п.5, отличающийся тем, что оксидным материалом является оксид кремния.7. Способ по п.1, отличающийся тем, что слой наносимого материала, выполнен из металла.8. Способ по п.1, отличающийся тем, что слой наносимого материала, выполнен из полупроводника.9. Способ по п.1, отличающийся тем, что толщина слоя наносимого материала составляет 0,1-0,5 мкм. |