VACUUM HEAT TREATMENT APPARATUS

摘要

실시예에 따른 진공 열처리 장치는, 챔버; 상기 챔버 내에 위치하는 단열 부재; 상기 단열 부재 내에 위치한 반응 용기; 및 상기 반응 용기와 상기 단열 부재 사이에 위치하는 가열 부재를 포함한다. 상기 단열 부재는, 제1 단열 부재, 그리고 상기 제1 단열 부재 내부에서 상기 제1 단열 부재와 이격되는 제2 단열 부재를 포함한다.