一种扩散炉炉门的密封装置

摘要

本实用新型涉及太阳能电池制造领域，尤其涉及一种扩散炉的炉门密封装置。主要特征是炉门的开关动作是通过滑轨和滑块完成，运动过程精度高、安全性和可靠性好、平顺且噪音小，同时关炉门时采用气缸驱动提供一定的预紧力，使炉门和反应管密封更好，从而提高扩散源的使用效率，减少废气泄露造成的污染腐蚀，延长设备的维护周期，提高设备的使用寿命。

主权项

一种扩散炉炉门的密封装置，包括内端与炉门(2)外部中心通过紧固机构相连的悬臂(5)、气缸(18)和电机(12)，悬臂(5)的外端设有光孔和丝孔，其特征是，还包括底板(16)，底板(16)下侧设有平行的两条沿着炉门(2)左右方向放置的A滑轨(15)，底板(16)底面设有两块沿着A滑轨(15)滑动的A滑块，所述气缸(18)的缸体固定在底板(16)底面且气缸(18)的活塞端固定在底板(16)下侧的固定座(17)上，气缸活塞的中心轴线与A滑轨(15)平行且气缸(18)带动底板(16)沿着A滑轨(15)滑动；所述底板(16)顶面设有平行的两条与A滑轨(15)垂直放置的B滑轨(8)，并在B滑轨(8)上设有可沿着B滑轨(8)滑动的B滑块(21)，所述电机(12)固定在两条B滑轨(8)之间的底板(16)外端顶面，与电机(12)相对的底板(16)内端顶面装有轴承座(24)，电机(12)通过联轴器(11)与丝杆螺母(9)的一端相连且丝杆螺母(9)的另一端通过轴承(23)与轴承座(24)连接；所述悬臂(5)的外端与带丝孔的安装板(7)通过连接件相连，且安装板(7)的两端分别固定到两块B滑块(21)的顶面，所述丝杆螺母(9)通过连接法兰(22)固定到安装板(7)的侧面；所述安装板(7)沿着炉门(2)左右方向的一侧设有限位块(19)，并在炉门(2)完全关闭和炉门(2)完全打开时与限位块(19)位置相对应的底板(16)一侧分别设有后限位光电开关(20)和前限位光电开关(13)。