一种高频感应等离子发生器

摘要

本实用新型涉及一种高频感应等离子发生器，是一种新型结构的用于多晶硅提纯的高频感应等离子体发生器。该发生器是由内外两层同轴石英管、工作气体进气口、保护气体进气口、切线进气口和进气口组成，采用氩气来冷却等离子发生器提高了安全性的同时还保证了氧化性气分的稳定均匀进入发生器，产生稳定均匀的等离子体，即解决了多晶硅提炼过程中易受到污染的问题，又能保证在生产过程中的安全性。该发生器能够提供稳定、可靠离子束，具有不产生污染物质、耐高温，绝缘性好，不易损坏，气流平稳均匀，保证发生器不被烧坏和等离子体均匀产生排出，更好发挥等离子体的作用。

主权项

一种用于提纯多晶硅的高频感应等离子发生器，其特征在于该发生器是由内外两层同轴石英管、工作气体进气口、保护气体进气口、切线进气口和进气口组成，工作气体进气管（6）置于内石英管（1）的上端，工作气体进气管（6）的两端固定在内石英管（1）的管壁上为切线进气口（3）和切线进气口（4），切线进气口（3）和切线进气口（4）成180°，在工作气体进气管（6）上设有工作气体进气口（2）；保护气体进气管（7）置于外石英管（5）的上端，保护气体进气管（7）的两端固定在外石英管（5）的管壁上为切线进气口（8）和切线进气口（9），切线进气口（8）和切线进气口（9）成180°，在保护气体进气管（7）上设有保护气体进气口（10）。