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发明名称 POLISHING APPARATUS AND POLISHING METHOD
摘要
申请公布号 EP2075089(A4) 申请公布日期 2012.12.05
申请号 EP20070807178 申请日期 2007.09.06
申请人 EBARA CORPORATION 发明人 KOBAYASHI, YOICHI;HIROO, YASUMASA;OHASHI, TSUYOSHI
分类号 B24B37/04;B24B37/00;H01L21/304 主分类号 B24B37/04
代理机构 代理人
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