侧向蒸镀用的立式蒸发舟及侧向蒸镀用的立式蒸发装置

摘要

本发明公开了一种侧向蒸镀用的立式蒸发舟，适于设置在呈真空环境的密封腔体内并用于对有机发光二极管和太阳能电池板中大面积的基板进行侧向蒸镀，其中，基板呈竖直的设置，而侧向蒸镀用的立式蒸发舟包括沿竖直方向设置并呈中空结构的蒸发舟本体，中空结构形成一端贯穿蒸发舟本体一侧的密封空腔，密封空腔的开口与基板相对应，且密封空腔内沿竖直方向设置有若干间隔开并供蒸发材料盛放用的盛放部，盛放部具有供蒸发材料在蒸发时产生的蒸镀物质通过的侧蒸发出口，侧蒸发出口与基板相对应。本发明侧向蒸镀用的立式蒸发舟能确保大面积的基板的对位精度及提高该基板镀膜的均匀性。

主权项

一种侧向蒸镀用的立式蒸发舟，适于设置在呈真空环境的密封腔体内并对有机发光二极管和太阳能电池板中大面积的基板进行侧向蒸镀，其特征在于，该基板呈竖直的设置，而所述侧向蒸镀用的立式蒸发舟包括沿竖直方向设置并呈中空结构的蒸发舟本体，所述中空结构形成一端贯穿所述蒸发舟本体一侧的密封空腔，所述密封空腔的开口与所述基板相对应，且所述密封空腔内沿竖直方向设置有若干间隔开并供蒸发材料盛放用的盛放部，所述盛放部具有供蒸发材料在蒸发时产生的蒸镀物质通过的侧蒸发出口，所述侧蒸发出口与所述基板相对应。