光学系统的制造方法

摘要

投影光学系统(PS)的制造方法是根据该投影光学系统(PS)内的全部光学面的近似面，评价整个系统的光学性能，并且通过使全部光学面的近似面中至少1面(例如使原始品的第二透镜L2的缩小侧透镜面(S(L2s))；称为「变化近似面」)变化，求出整个系统发挥最佳光学性能时的变化近似面的变化量。而且，基于该变化量求出与变化近似面对应的金属模的腔面修正加工量并进行修正加工，制作新的腔面。

主权项

一种光学系统的制造方法，通过使用模具构件的成形，制造含有多个光学面的光学系统，该方法的特征在于，包括：设定含有通过初始成形形成的光学面的所述光学系统的全部光学面的近似面的工序；根据所述光学系统内的全部光学面的近似面评价整个系统的光学性能的第一光学性能评价工序；所述全部光学面的近似面中用模具构件成形的至少1面作为变化近似面，另一方面，所述全部光学面的近似面中用模具构件成形的至少1面不作为所述变化近似面，而作为无变化近似面，求出整个系统发挥最佳光学性能时的变化近似面的变化量的变化量算出工序；基于所述变化量求出与所述变化近似面对应的所述模具构件的腔面的修正加工量，并进行修正加工，制作新腔面的第一修正加工工序；使用由所述第一修正加工工序加工的修正模具构件使光学元件成形的第一成形工序；使用所述修正模具构件以外的模具构件使光学元件成形的第二成形工序。