发明名称
摘要
申请公布号 JP5092269(B2) 申请公布日期 2012.12.05
申请号 JP20060121792 申请日期 2006.04.26
申请人 发明人
分类号 H01L29/786;H01L21/336;H01L21/368;H01L51/05 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人
主权项
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