发明名称
摘要
申请公布号 JP5087854(B2) 申请公布日期 2012.12.05
申请号 JP20060102977 申请日期 2006.04.04
申请人 发明人
分类号 C23C4/02;F02F1/00;F16J10/04 主分类号 C23C4/02
代理机构 代理人
主权项
地址