密封板、用于密封板之密封构件及该等元件之制造方法

摘要

本发明系提供一种密封板及用于密封板之密封构件及该等元件之制造方法，以防止用于密封板之密封构件曝露于处理气体以延长密封构件之寿命，并且密封构件不会从沟内脱落或转动。;本发明之密封构件系在真空用闸阀中，黏接在以与闸开口部之阀座面相对向之方式配置之平板状密封板之外缘部，且与前述阀座面抵接，藉以将前述闸开口部密封者，其特征为：与前述外缘部黏接之前述密封构件系具有：真空密封部，位于距离前述闸开口部较远侧，于前述闸开口部封闭时，用以维持前述闸开口部之密封性；及自由基密封部，位于距离前述闸开口部较近侧，于前述闸开口部封闭时，用以防止前述密封构件被前述闸开口部内之处理气体侵损；前述真空密封部系由橡胶弹性体所构成；前述自由基密封部，系在橡胶弹性体上配设具优异耐自由基性之耐自由基体而成。

主权项

一种密封构件，在真空用闸阀中，黏接在以与闸开口部之阀座面相对向之方式配置之平板状密封板之外缘部，且与前述阀座面抵接，藉以将前述闸开口部密封者，其特征为：与前述外缘部黏接之前述密封构件系具有：真空密封部，位于距离前述闸开口部较远侧，于前述闸开口部封闭时，用以维持前述闸开口部之密封性；及自由基(radical)密封部，位于距离前述闸开口部较近侧，于前述闸开口部封闭时，用以防止前述密封构件被前述闸开口部内之处理气体侵损；前述真空密封部系由橡胶弹性体所构成；前述自由基密封部，系在与前述真空密封部之橡胶弹性体系一体构成之橡胶弹性体上配设具优异耐自由基性之耐自由基体而成，且前述耐自由基体系从前述自由基密封部之橡胶弹性体上延伸到前述密封板上而设置，且未设置于前述真空密封部之橡胶弹性体上。如申请专利范围第1项之密封构件，其中，系与形成在前述密封板之外缘部之凹部黏接。如申请专利范围第1项之密封构件，其中，前述自由基密封部之橡胶弹性体与耐自由基体系彼此黏接。如申请专利范围第1项之密封构件，其中，前述自由基密封部之橡胶弹性体与耐自由基体系以可分离之方式叠层。如申请专利范围第1项至第4项之中任一项之密封构件，其中，系以前述真空密封部至少较前述自由基密封部先与前述阀座面抵接之方式构成。如申请专利范围第1项至第4项之中任一项之密封构件，其中，在前述密封构件之纵剖面形状上，系于前述自由基密封部之左右两侧分别形成有大致对称形状之谷部。一种密封板，其特征为：申请专利范围第1至6项中任一项之密封构件系与密封板之外缘部黏接；在真空用闸阀中，配置成与闸开口部之阀座面相对向，且藉由前述阀座面与前述密封构件抵接而将前述闸开口部予以密封。如申请专利范围第7项之密封板，其中，在前述密封板之凹部之缘设有小段差部。如申请专利范围第7或8项之密封板，其中，与前述阀座面抵接之自由基密封部之顶端部分系为与前述阀座面大致平行之平坦(flat)面。一种密封构件之制造方法，该密封构件系在真空用闸阀中，黏接在以与闸开口部之阀座面相对向之方式配置之平板状密封板之外缘部所形成之凹部，且与前述阀座面抵接，藉以将前述闸开口部密封者，其特征为：前述密封构件之制造方法至少具有：准备前述密封板之步骤；将前述密封构件之原材料黏接于前述密封板之凹部内之步骤；在前述密封构件之原材料上，且为前述密封板之凹部之内方侧配设耐自由基体之步骤；从配设在前述密封构件之原材料上之耐自由基体之上以按压构件进行热冲压，将密封板与耐自由基体之至少一部份予以热压接之步骤；在配设有前述耐自由基体之密封构件之原材料之上方配置金属模具之步骤，该金属模具具有：用以形成真空密封部之凹部，该真空密封部系位于前述密封板之凹部之外方侧，于前述闸开口部封闭时，用以维持前述闸开口部之密封性；及用以形成自由基密封部之凹部，该自由基密封部系位于前述密封板之凹部之内方侧，于前述闸开口部封闭时，用以防止前述密封构件被前述闸开口部内之处理气体侵损；及将前述所配设之金属模具加热，并且使前述金属模具朝密封板方向移动而形成前述密封构件之真空密封部与自由基密封部之步骤。一种密封板之制造方法，其特征为具有藉由申请专利范围第10项之制造方法形成密封构件之步骤。