摘要 |
Ein Oberflächenwellenbauelement (1), dass die Rayleigsche Welle ausnutzt, wobei das Bauelement folgende Merkmale umfasst: ein LiNbo3-Substrat (2), das durch Eulersche Winkel von (0° ± 5°, &thetas; ± 5°, 0° ± 10°) dargestellt ist; eine Elektrode (3), die auf dem LiNbo3-Substrat angeordnet ist, und die eine IDT-Elektrode mit Elektrodenfingern umfasst, die hauptsächlich Cu enthält; einen ersten Siliziumoxidfilm (6), der zwischen den Elektrodenfingern der IDT-Elektrode liegt, wobei der erste Siliziumoxidfilm eine Filmdicke gleich der Dicke der Elektrode aufweist; und einen zweiten Siliziumoxidfilm (7), der die Elektrode (3) und den ersten Siliziumoxidfilm (6) bedeckt, wobei die Filmdicke der Elektrode (3) innerhalb des Bereichs von 0,12λ bis 0,18λ liegt, wobei λ die Wellenlänge einer Oberflächenwelle darstellt, und &thetas; der Eulerschen Winkel von (0° ± 5°, &thetas; ± 5°, 0° ± 10°) innerhalb des Bereichs liegt, der die folgende Gleichung erfüllt:
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