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Ein Mikrohohlraum-Messverfahren und entsprechende Vorrichtungen basierend auf einer Kollimation mit Mikro-Brennweite sind vorgesehen. Die Vorrichtungen können dazu verwendet werden, unregelmäßige Mikrohohlräume und Mikrohohlräume im „Sub-Makro”-Bereich zu vermessen. Eine zylindrische oder sphärische Linse mit einer Mikro-Brennweite wird mit einer Fasersonde (11, 12) kombiniert, um ein kollimierendes und abbildendes optisches System einer Punktlichtquelle (10) darzustellen, und das kollimierende und abbildende optische System wandelt die zwei- oder dreidimensionale Bewegung der Fasersonde (11, 12) in eine Änderung des Bilds mit einer ultrahohen Empfindlichkeit um. Viele Vorteile werden dadurch erreicht, d. h. eine mikroskopisch kleine Messkraft, ein hohes Aspektverhältnis, eine einfache Miniaturisierung, eine hohe Auflösung, ein einfacher Aufbau und eine große Geschwindigkeit.
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