一种薄膜残余应力分离和测量装置

摘要

本发明涉及一种薄膜残余应力分离和测量装置，包括密封箱、干涉仪、反射镜、加热板、水平微调底座及输气管，干涉仪、反射镜、加热板、水平微调底座及输气管均设置在密封箱内，干涉仪发出光束，经反射镜反射到达待测样品的表面，光束被反射后再次经过反射镜反射回到干涉仪中，与干涉仪中的标准面的反射光发生干涉。与现有技术相比，本发明可以测量计算薄膜样品的残余应力；各成分应力(由水诱发应力、热应力和内应力)；薄膜的热膨胀系数和弹性模量；模拟薄膜样品在真空中应力的演化情况，是一种非接触、无破坏性的检测方法，测量精度高，操作方便。

主权项

一种薄膜残余应力分离和测量装置，其特征在于，该装置包括密封箱(1)、干涉仪(2)、反射镜(3)、加热板(5)、水平微调底座(6)及输气管(7)，所述的干涉仪(2)、反射镜(3)、加热板(5)、水平微调底座(6)及输气管(7)均设置在密封箱(1)内，加热板(5)上放置待测样品(4)，干涉仪(2)发出光束，经反射镜(3)反射到达待测样品(4)的表面，光束被反射后再次经过反射镜(3)反射回到干涉仪(2)中，与干涉仪(2)中的标准面的反射光发生干涉。