用于同时检验具有不同间距的多个阵列区域的方法和装置

摘要

一个实施例涉及使用成像装置(302)同时自动地检验多个阵列区域(102)的方法。所述方法包括：选择(211或212)最优像素尺寸，以使多个阵列区域中的每一个阵列区域具有被编组单元，该被编组单元在尺寸上是整数个像素；并调整成像装置的像素尺寸为所选择的最优像素尺寸。当单元尺寸用整数表达的时候，可通过寻找(202)多个阵列区域的单元尺寸的最大公约数来确定可获得的像素尺寸范围内的最优像素尺寸。可应用预设准则来确定(208)哪一个，如果有的话，最优像素尺寸是基于预设准则可被接受的。如果没有一个最优像素尺寸是可被接受的，那么可将阵列区域之一标记为用于数字内插(见216)。还公开了其他实施例、方面和特征。

主权项

用于在所制造的衬底上的多个阵列区域中检测缺陷的检验装置，所述装置包括：成像装置，被设置为照明所述衬底的区域并检测来自所述区域的图像数据，其中所述区域包括多个阵列区域的集合；以及系统控制器，包括处理器、存储器和位于所述存储器中的计算机可读代码，所述计算机可读代码被设置为：选择最优像素尺寸，以使所述多个阵列区域中的每一个阵列区域可具有在尺寸上是整数个像素的被编组单元，且将所述成像装置的像素尺寸调整为所选择的最优像素尺寸。