| 发明名称 | 用于镍-磷存储盘的抛光组合物 | ||
| 摘要 | 本发明提供包含α-氧化铝、热解氧化铝、硅石、使镍-磷氧化的氧化剂、络合剂、和水的化学-机械抛光组合物。本发明还提供化学-机械抛光基材的方法，其包括使基材与抛光垫和化学-机械抛光组合物接触、使该抛光垫和抛光组合物相对于该基材移动、和磨蚀该基材的至少一部分以抛光该基材。 | ||
| 申请公布号 | CN102804345A | 申请公布日期 | 2012.11.28 |
| 申请号 | CN201080034414.6 | 申请日期 | 2010.06.03 |
| 申请人 | 嘉柏微电子材料股份公司 | 发明人 | S.帕拉尼萨米钦娜萨姆比;H.西里瓦达尼 |
| 分类号 | H01L21/304(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/304(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 宋莉 |
| 主权项 | 化学‑机械抛光组合物，其包含：(a)热解氧化铝颗粒；(b)α‑氧化铝颗粒；(c)基本上呈球形的非聚集硅石颗粒；(d)过氧化氢；(e)亚胺基羧酸；和(f)水。 | ||
| 地址 | 美国伊利诺伊州 | ||