一种CVD还原炉电极及其绝缘装置

摘要

本实用新型公开一种CVD还原炉电极及其绝缘装置，电极为T形，在电极的中部有环槽，绝缘装置包括氮化硅瓷环，四氟绝缘套，四氟绝缘筒，氟橡胶O型圈，四氟垫片及绝缘纸。四氟绝缘套呈T形，套装在电极外并位于电极的T形凸台下方。四氟绝缘筒套装在电极外，其上端与四氟绝缘套下端呈承插连接结构。四氟绝缘套与四氟绝缘筒的连接处与电极中部的环槽相对应，环槽内缠绕有若干层绝缘纸。本实用新型可提高还原炉效率，降低工作强度，提高产品质量，提高安全系数，节约生产成本。

主权项

一种CVD还原炉电极及其绝缘装置，其特征在于：电极为T形，在电极的中部有环槽，绝缘装置包括氮化硅瓷环，四氟绝缘套，四氟绝缘筒，氟橡胶O型圈，四氟垫片及绝缘纸，四氟绝缘套呈T形，套装在电极外并位于电极的T形凸台下方，四氟绝缘筒套装在电极外，其上端与四氟绝缘套下端呈承插连接结构，四氟绝缘套与四氟绝缘筒的连接处与电极中部的环槽相对应，环槽内缠绕有绝缘纸，氮化硅瓷环套装在四氟绝缘套外并位于四氟绝缘套的T形凸台下方，氮化硅瓷环上表面有两个内径不同的凸台，内侧凸台内径与四氟绝缘套的T形凸台外径相配合，外侧凸台的内径与电极的T形凸台外径相配合，在氮化硅瓷环下方有一层四氟垫片，氮化硅瓷环外侧中部有一凹槽，将氮化硅瓷环分为上下两部分，上下两部分的外径不同。