发明名称 |
修整器的制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种修整器的制备方法,是先使多个磨粒的研磨端被粘着剂固定于下模具,然后再灌注液态状的树脂,再使液态状的树脂固化固定结合多个磨粒及去除粘着于研磨端的粘着剂;使多个磨粒在灌注液态状的树脂作业时,不会产生位移,而具有相同的突出高度,而使修整器的研磨端面较为平坦;并使结合多个磨粒的树脂在固化前,经由加压、抽真空的处理,以降低树脂内的气泡含量,增加树脂对多个磨粒的固持力,使多个磨粒在对研磨垫进行修整时较不会脱落。 |
申请公布号 |
CN102092007B |
申请公布日期 |
2012.11.28 |
申请号 |
CN200910253255.8 |
申请日期 |
2009.12.11 |
申请人 |
林舜天;宋健民 |
发明人 |
林舜天;宋健民 |
分类号 |
H01L21/302(2006.01)I;B24B53/12(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/302(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
周国城 |
主权项 |
一种修整器的制备方法,包括如下步骤:1)使多个磨粒的研磨端分别被粘着剂粘结于一下模具形成多个凹槽的多个底壁;或使多个磨粒的研磨端直接被粘着剂粘结于一平坦下模具上方;2)使一基板置于一上模具内,且置于该多个磨粒的上方;3)在一密闭空间内,使液态状的树脂流布于该下模具与该基板之间的一流布空间内;4)使该液态状的树脂固化而分别与该基板及该多个磨粒结合形成一结构体;5)取出该结构体,并去除粘结于该多个磨粒的研磨端的该粘着剂,露出该多个磨粒的研磨端形成一修整器。 |
地址 |
中国台湾台北县汐止镇 |