太阳能电池刻蚀废物体系的处理装置

摘要

本实用新型涉及太阳能电池刻蚀废物体系的处理装置。所述处理装置包括蒸发设备、注射设备和冷凝设备。本实用新型处理设备可实现太阳能电池刻蚀液的循环利用，从而减少刻蚀液的消耗，消除清洁废液和有毒废气的排放，且由于使刻蚀加工稳定而提高电池效率，从而提高经济效益并保护环境。

主权项

一种太阳能电池刻蚀废物体系的处理装置，所述废物体系来自太阳能电池加工系统中的刻蚀设备，其特征在于，所述处理装置包括：与所述刻蚀设备流体相通的、用于加热液体和使气体蒸发的蒸发设备；与所述蒸发设备和所述刻蚀设备流体相通的、用于气体的混合的注射设备；和与所述注射设备和所述刻蚀设备流体相通的、用于气体的冷凝以及混合酸的制备的冷凝设备。