| 发明名称 | 一种硼（B）扩散掺杂的方法 | ||
| 摘要 | 一种硼（B）扩散掺杂的方法，其步骤如下：（1）腐蚀清洗待掺杂的衬底表面，清洗完成后将衬底干燥；（2）扩散炉升温，同时向扩散石英管内导入大氮；当温度达到850-1050°C后，将步骤（1）制备好的清洁衬底放入扩散石英管恒温区，密封扩散炉炉口；待扩散炉温度稳定后，向扩散石英管内通入氧气、携带硼源的小氮和气态水；所述的大氮的流量为12-20slm/min；所述的氧气的流量为2000-5000sccm/min；所述的携源小氮的流量800-3000sccm/min；所述的气态水的流量范围为100-900sccm/min；（3）待扩散过程结束后将衬底取出冷却。 | ||
| 申请公布号 | CN102797040A | 申请公布日期 | 2012.11.28 |
| 申请号 | CN201210301219.6 | 申请日期 | 2012.08.22 |
| 申请人 | 中国科学院电工研究所 | 发明人 | 汤叶华;周春兰;王文静;费建明;曹红彬 |
| 分类号 | C30B31/06(2006.01)I | 主分类号 | C30B31/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人 | 关玲 |
| 主权项 | 一种硼（B）扩散掺杂的方法，其特征在于所述的方法步骤如下：（1）腐蚀清洗待掺杂的衬底表面，清洗完成后将衬底干燥；（2）扩散炉升温，同时向扩散石英管内导入大氮；当温度达到850‑1050°C后，将步骤（1）制备好的清洁衬底放入扩散石英管恒温区，密封扩散炉炉口；待扩散炉温度稳定后，继续导入大氮，并向扩散石英管内通入氧气、携带硼源的小氮和气态水；所述的大氮的流量为12‑20slm/min；所述的氧气的流量为2000‑5000sccm/min；所述的携源小氮的流量800‑3000sccm/min；所述的气态水的流量范围为100‑900sccm/min；（3）待扩散过程结束后将衬底取出冷却。 | ||
| 地址 | 100190 北京市海淀区中关村北二条6号 | ||