发明名称 埋置电缆沟之方法
摘要 本发明提供一种埋置电缆沟之方法。其系在具有电缆沟之基体上,涂布由胺化合物与氢化铝的错合物及有机溶剂所成之埋置电缆沟用组成物,接着藉由加热及/或照射光,使该电缆沟内之该错合物转换为铝,在该电缆沟埋置铝之方法。依此方法,在微细、复杂的图型之电缆沟中埋置铝时,埋置性良好,可轻易使用于大型基体。此方法能以低成本实施。
申请公布号 TWI377622 申请公布日期 2012.11.21
申请号 TW095101060 申请日期 2006.01.11
申请人 JSR股份有限公司 发明人 酒井达也;松木安生
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 一种埋置电缆沟之方法,其系在具有电缆沟之基体上,涂布由胺化合物与氢化铝之错合物及有机溶剂所成之埋置电缆沟用组成物,接着藉由加热及/或照射光,在该电缆沟内埋置铝之埋置电缆沟之方法,其特征在于前述具有电缆沟之基体,为在第一压力下预先涂布含有至少一种选自钛、钯及铝所成群之化合物(但胺化合物与氢化铝之错合物除外)之形成基底膜用组成物后,保持在相对于前述第一压力为1~70%之压力的第二压力下,接着经加热者。如申请专利范围第1项之方法,其中前述第二压力为前述第一压力之10~40%的压力。如申请专利范围第1或2项之方法,其中该埋置电缆沟用组成物尚含有钛化合物。如申请专利范围第1或2项之方法,其中含有电缆沟之基体,具有使电缆沟之深度除以电缆沟之表面开口部之最小距离之值为3以上之电缆沟。
地址 日本